日前，江苏印发《半导体行业污染物排放标准（二次征求意见稿）》。涉及大气污染物、水污染物排放，其中大气污染物涉及氮氧化物、非甲烷总烃等。相比上次，二次征求意见稿大气污染物方面增加了TVOC、磷化氢、砷化氢、锡及其化合物，收紧了硫酸雾和非甲烷的的排放标准。

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