光氧催化废气处理设备是通过氧化剂在光的激发和某些具有能带结构的半导体光催化剂的催化作用下产生的·OH氧化分解有机物。光催化氧化技术使用的催化剂有二氧化钛、氧化锌、三氧化钨、硫化锌、二氧化锌和三氧化铁等。
      硫化氢：纸浆、炼油、炼焦、石化、煤气、粪便处理、二硫化碳的生产或加工
　　硫醇类：纸浆、炼油、煤气、制药、农药、合成树、合成纤维、橡胶
　　硫醚类：纸浆、炼油、农药、垃圾处理、生活污水下水道
　　氨：氮肥、硝酸、炼焦、粪便处理、肉类加工
　　胺类：水产加工、畜产加工、皮革、骨胶
　　吲哚类：粪便处理、生活污水处理、炼焦、肉类腐烂、屠宰牲畜
　　硝基：燃料
　　烃类：炼油、炼焦、石油化工、电石、化肥、内燃机排气、油漆、溶剂、油墨印刷
　　醛类：炼油、石油化工、医药、内燃机排气、垃圾处理、铸造